Untuk pertama kalinya proses peng-copy-an sistem xerography diciptakan oleh Chester F Carlson orang Amerika pada tanggal 22 Oktober 1938. Disebut sistem xerography karena proses penyalinannya berlangsung dalam keadaan kering Pada saat ditemukannya, Carlson dibantu oleh seorang ahli fisikawan bernama Otto Kornei. Carlson menjalankan eksperimennya berdasarkan dua gejala yaitu pertama adanya gaya tarik menarik antara dua benda bermuatan listrik tak senama dan yang kedua adalah gejala foto konduktivitas yang menyatakan bahwa bila suatu berkas cahaya tiba diatas permukaan bahan tertentu, maka nilai konduktivitas dari bahan tersebut akan bertambah atau dengan kata lain besar tahanan listrik bahan pada tempat dimana terkena berkas cahaya menjadi berkurang.
Pada hari ditemukannya xerography ini Carlson dan Otto menyiapkan ruangan yang gelap tanpa ada cahaya yang masuk. Mereka mempersiapkan plat seng yang dilapisi emulsi sulfursebagai bahan foto kondusi dan mereka menulis huruf-huruf 10-22-38 ASTORIA di atas plat kaca atau slide. Kemudian Carlson dan Otto menggosok keras-keras permukaan pelat seng dengan sapu tangan agar terjadi penimbunan listrik negatif di atas permukaan. Kemudian meletakkan dibawah pelat kaca dan mereka meletakkan kedua lapisan yang rangkap itu dibawah lampu pijar yang sangat terang untuk mendapatkan cahaya kuat beberapa lama.
Setelah itu kaca slide diangkat dan ditaburi bubuk lycopodium diatas permukaan pelat sulfur. Secara hati-hati permukaan ditiup agar bubuk lycopodium terhembus dan yang tertiup itu dapat meninggalkan suatu bagian dari bubuk yang sedah membentuk huruf-huruf yang tertera di atas plat kaca. Mereka memindahkan apa yang tertulis diatas plat tadi ke atas kertas lilindan dipanasi agar lilinnya meleleh sehingga pada akhirnya diatas kertas tercetak copy yang diinginkan. Percobaan ini dilakukan berulang-ulang oleh Carlson untuk meyakinkan dirinya bahwa pada hari itu sebenarnya ia telah menemukan sebuah teknologi copy yang cemerlang.
Pada tahun 1947 xerography dipatenkan dan dikembangkan lebih lanjut oleh Carlson dibawah naungan sebuah perusahaan kecil dibidang kertas foto bernama Haloid yang akhirnya berubah jadi nama XEROX sampai kemudian pada tahun 1959 Carlson berhasil membuat mesin copynya yang pertama berkode 914, mesin copy yang paling sukses pada waktu itu dengan kemampuan peng-copy-an diatas kertas datar dengan cepat yang hanya dengan menekan tombol salinannya dapat keluar.
Sejak penemuan Carlson perusahaan Haloid menjadi perusahaan raksasa dan bertahun-tahun memproduksi mesin fotocopy dengan merek yang sangat terkenal yaitu XEROX dan merupakan perusahaan pelopor di bidang perfoto-copyan. Bahkan Xerox telah menghasilkan mesin fotocopy yang menggunakan sinar laser, yaitu mesin copy Xerox dengan type 9700 dan Xerox mampu menghasilkan mesin copy untuk gambar dengan type Xerox 2080
